5月21日消息，埃因霍温理工大学的研究人员开发了一种新的集成光学传感器，它可以提高测量的分辨率，并为完全集成和紧凑的光学传感器铺平了道路，包括用于片上传感平台的激光器和探测器。这种传感器可以在纳米尺度上精确测量位移和力，这对于微芯片和纳米器件的设计和评估至关重要。这项研究已经发表在《自然通讯》杂志上。

在纳米电子学时代，精确性是最重要的。例如，纳米结构可以用纳米光学仪器来监测，微小的、基于光的系统可以测量最小的表面变化、力和运动。由于分辨率和速度是必不可少的，基于光机系统的光学读出传感器常被用于原子力显微镜（AFMs）等传感应用中。这些装置通过测量悬臂梁在感兴趣表面上的偏转所反射的激光，生成亚纳米分辨率的图像。

然而，传统的基于激光的方法，如原子力显微镜中的方法，可能是笨重的，而随着对低成本和高分辨率的需求，激发了对替代方法的需求。由于纳米光机系统（NOMS）的发展，可以实现用于测量纳米级运动、力和质量的紧凑型光学传感器。一个限制因素是需要一个窄线宽的可调谐激光器，这可能很难在设备上充分结合。

为了解决这个问题，刘天冉、菲奥雷和图埃光子集成研究所的同事设计了一种新的光机装置，其分辨率为45毫米（约为最小原子大小的1/1000），测量时间仅为几秒钟。至关重要的是，该设备具有80纳米的超宽光学带宽，消除了对可调谐激光器的要求。

该传感器是基于硅（IMOS）平台上的磷化铟（InP）膜，非常适合包括激光器或探测器等无源元件。传感器本身由四个波导结构组成，它们将光信号限制在特定的路径和方向上，两个波导悬挂在两个输出波导上。当悬置波导被推向InP膜上的输出波导时，输出波导所携带的相对信号量会发生变化。制作通过一系列光刻步骤来定义波导和悬臂梁，最终的传感器由传感器、驱动器和光电二极管组成。

这种传感器的一个关键优点是，它可以在大范围的波长范围内工作，这样就不需要在设备上安装昂贵的激光器。在悬臂梁挠度方面，该传感器还复制了传统但体积庞大的AFMs悬臂梁的分辨率。利用这一新设备作为基础，研究人员计划开发一个完整的“纳米计量实验室”，它集成在一个可以用于半导体计量的芯片上，有助于下一代微芯片和纳米电子学的设计。