由于其精度高于传统的机械加工,因此脉冲激光加工系统已被广泛用于加工抗性材料,例如轻质和高强度碳纤维增强塑料(CFRP)和低介电常数(low- k))材料,以防止半导体集成电路的工作速度下降。但是,仍然存在一些问题,例如加工速度和加工产量。将空间光调制器(SLM)集成到工业脉冲激光系统中,可以将衍射的多个激光束同时照射到目标样品的不同点上,与单束激光加工相比,提高了处理量。但是,到目前为止,这种类型的激光加工所需的输出功率不足。结果,具有更高输出功率的工业脉冲激光器开始在市场上出现,从而产生了对具有更高抵抗高激光功率水平的能力的SLM的需求。
现在,滨松(日本滨松市)的研究人员已经开发出一种液晶SLM,他们说这种液晶SLM具有世界上最高的脉冲激光功率能力,高达400 GW / cm 2。基于反射液晶(LC)的SLM具有夹在硅衬底和玻璃层之间的LC单元层;和 滨松表示,其高光处理能力比以前的产品高10倍,这是通过改善反射入射激光束的介电多层反射镜的薄膜设计以及重新设计像素电极电路来实现的。SLM以1050 nm波长工作,具有1272 × 1024像素,8位输入信号电平,12.5μm间距和95%的开口率。滨松小组指出,SLM被视为使用人工智能(AI)(例如“网络物理系统”(CPS)型激光加工设备)的新制造和制造技术的必要设备。
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