时间:2023-01-03 17:07来源:中国科学报作者:huahua 点击:次摘要：法国波尔多大学强激光与应用研究所(CELIA)的激光-物质相互作用研究小组在GHz脉冲模式下使用飞秒激光探索了一种新的玻璃微钻孔方法。相关研究近日发表于《极限制造国际期刊》。
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 飞秒激光在脉冲模式下对玻璃进行自上而下的冲击钻孔。 法国波尔多大学强激光与应用研究所(CELIA)的激光-物质相互作用研究小组在GHz脉冲模式下使用飞秒激光探索了一种新的玻璃微钻孔方法。相关研究近日发表于《极限制造国际期刊》。 研究团队利用GHz脉冲状态下的飞秒激光，设计了一种新的玻璃微加工方法，该方法可以钻取无锥形、细长的孔，其内壁光滑，玻璃中没有任何裂缝。通常，用标准单飞秒脉冲激光打孔会得到长度有限且内表面粗糙的锥形孔。 这种新的激光-物质相互作用机制允许直接在一个步骤中钻出高纵横比的孔，而无需任何化学蚀刻。激光脉冲参数的选择对于获得良好的微细加工质量是非常重要的。飞秒激光ghz爆发模式可能为微电子学等新应用铺平道路，在微电子学中，硅中间体很可能被玻璃中间体取代。 |
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