激光解决金刚石的“硬脆”加工难题!助力半导体设备国产化进程(2)

时间:2023-05-06 15:30来源:碳材料大会作者:碳材料大会 点击:
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摘要:紫外采用的是355nm波段激光,这个波长的产品属于全能型的,它的光斑也很小,紫外激光是破坏材料分子键的加工模式热影响最小。由于特殊的UM波长,在

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紫外采用的是355nm波段激光,这个波长的产品属于全能型的,它的光斑也很小,紫外激光是破坏材料分子键的加工模式热影响最小。由于特殊的UM波长,在传统加工领域有这个全能的称号,激光打标,激光切割,激光焊接都可以看到他的身影,光纤激光坐不了的,它可以做,C02不能加工的它也可以,在超波切割方面表现更是不俗,针对金属产品的微细 超薄切割方面可以做到无毛刺,整齐平滑,速度快捷,能耗低廉等优势。


紫光适用材料:覆盖膜、FPC软板、PCB软硬板、FPC辅材、超薄金属、陶瓷、高分子材料、树脂、硅片、PET/PI/PP膜、胶膜、铜箔、防爆膜、电磁膜、索尼胶等各类柔性薄膜……


激光加工金刚石


光解决金刚石的“硬脆”加工难题


金刚石,作为一种重要的“碳材料”,具有宽光谱透射性、低热膨胀系数、高机械强度,高耐热冲击热性,低散射,高激光诱导损伤阈值,低吸收,高拉曼增益系数和高导热性等优异特性的结合,为光学应用(如激光)提供了卓越的优势。


与此同时,金刚石具有高硬度、高耐磨性、高导热率等特性,在硬质刀具、高功率光电散热、光学窗口以及人造钻石等领域有着很好的应用。另外,金刚石半导体具有优于其他半导体材料的出色特性,因此被誉为“终极功率半导体”。基于业界长期的研发活动,如今金刚石半导体已经开始逐步迈向实用化。然而,金刚石作为硬脆难加工材料的典型代表,目前,切割金刚石的主要方式有水刀切割、电火花切割和激光切割。


激光切割的过程为脉冲激光与金刚石表面的二级作用,光子以双光子或多光子的方式与金刚石晶格作用,首先高功率激光束使材料聚焦处表面发生石墨化,之后石墨化的表面在下一束脉冲激光的作用下石墨化表面升华。从原理上可以看出,激光切割具有较其他方式独特的优势,即无接触式加工、效率高、切缝小、热影响区域小等优点,是最理想的金刚石加工方法之一。

【激光网激光门户网综合报道】( 责任编辑:huahua )
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