一、项目名称：3D飞秒激光光刻设备

二、招标编号：2012212

三、招标人：苏州大学实验室与设备管理处

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1012室

邮编：215021　　　　　　　传真：0512-67504198

联系人：罗老师 　　   　     电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：楼老师              电话：15250448825

电子邮箱：louyimin@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

第一包：3D飞秒激光光刻设备　　1套

性能指标及配置要求：

1. fs光纤激光器：脉冲长度≤120fs，重复频率100MHz±1MHz，平均功率大于120mW，中心波长780nm±10nm；

2. 加工面积：

大于100×100mm2，扫描面积100×130mm2，浸入式镜头工作面积100×72mm2；

3. 平台精度：

3.1 压电陶瓷扫描平台(x-y-z)：分辨率1nm，扫描空间300um×300um×300um；

3.2 重复定位精度(x-y-z)：4nm；

3.3 拼缝精度：100×100mm2　面积内<1um；

3.4 倾斜矫正：软件矫正<0.05º；

4. 工作扫描速度：>3mm/s；

5. 配置透镜：

5.1 油浸透镜：×100，NA=1.4, WD=170um；

5.2 空气物镜：×63，NA=0.75, WD=1.7mm，适用于基底厚度0~1.5mm；

6. 夹具：

6.1 10×30mmΦ，适用基底厚度170um；

6.2 3×2”Φ，适用基底厚度525um；

6.3 1×4”Φ，适用基底厚度525um；

7. 加工最高分辨率：

2D线宽分辨率：120nm；

3D线宽分辨率：150nm；

纵向：线宽小于450nm；

8. 其它：隔震平台900×900mm2：显微镜系统与3D工具匹配的软件输入系统。

五、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试及验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》第22条中的要求执行。

六、招标文件价格：标书每份人民币500元（可投标时交纳），售后不退。

七、投标截止时间：2012 年10月12日13:30。各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式5份（其中正本1份，副本4份）送达招标人处。

八、开标时间：2012年10月12 日13:30。

欢迎符合需求的供应商前来投标。