主要用于激光钻孔应用的激光器是 CO2、Nd:YAG、准分子和铜蒸气激光器 (CVL)。

CO2激光

脉冲模式的 CO2 激光器可用于金属和非金属的钻孔。然而，尤其是在金属上钻小孔和/或深孔时，Nd:YAG 激光器更适合，因为它在较短波长（Nd:YAG 为 1.06µm，CO2 为 10.6µm）下具有更好的能量耦合，并且峰值功率更高和脉冲重复率，中低功率 CO2 激光器主要用于非金属钻孔应用和陶瓷划线（即一系列孔）。

Nd:YAG 激光器

Nd:YAG 激光器（基波波长 1.06µm）是用于金属激光钻孔的主要激光器，主要应用无疑是航空发动机部件（涡轮叶片、燃烧室等）的冷却孔钻孔。使用非线性晶体（提供倍频），即缩短激光波长，Nd:YAG 激光器也可以在光谱的可见光或紫外 (UV) 部分工作。

准分子激光器

准分子激光器发射光谱紫外部分的激光，主要用于精密钻孔、仿形和微加工，如微电子行业中印刷电路板/印刷线路板的微孔钻孔。它们也最适合在一个或几个步骤中制作孔阵列。由于低脉冲重复率，准分子激光器不太适合用于金属。

铜蒸气激光器 (CVL)

基本 CVL 产生光谱可见部分（绿色和黄色）的激光， CVL 固有地以非常高的重复率脉冲。 CVL 与准分子激光器一样，用于精密钻孔、仿形和微加工。 CVL 可用于大多数材料，包括金属。