专利摘要显示，本实用新型提出了一种紫外激光谐振腔、激光器、及激光加工装置，涉及激光技术领域。根据第一方面的一种紫外激光谐振腔，包括：起点反射镜、终点反射镜、第一中继反射镜以及第二中继反射镜，进入谐振腔的光束在起点反射镜和终点反射镜之间往返，第一中继反射镜和第二中继反射镜设置在起点反射镜和终点反射镜之间的光轴上，从起点反射镜向终点反射镜传播的光束，依次经过第一中继反射镜、第二中继反射镜和终点反射镜；设置在光轴上的激光晶体、光调制器以及倍频晶体。通过在谐振腔中设置光调制器和倍频晶体，使得谐振腔能控制腔内激光的Q值，从而输出高功率的激光脉冲。

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