生物医学和材料力学等众多研究领域都需要直接或间接地控制和测量作用在微小物体上的力。然而，受限于机械反馈机制和有源元件的存在，继续缩小力学传感器尺寸和提高力学检测精度遇到了瓶颈。研制一种光纤型的微型微力传感器具有重要研究价值，在细胞实时监测、微创探测和组织活体弹性成像等领域具有极大的应用潜力。

近日，深圳大学王义平教授团队的廖常锐等人在国际顶尖学术期刊Light: Science & Applications发表最新研究成果。该团队基于结构力学原理研发了一种微型光纤微力传感器，实现了纳牛顿（nN）级微弱力的测量，并将其用于生物样品检测。研究人员采用飞秒激光诱导的双光子聚合（TPP）3D微打印技术首次在单模光纤端面成功打印出固支梁探针型微力传感器。这种全光纤微力传感器的力学灵敏度高达1.51 nm/μN，实现了光纤微力传感方向的最高检测下限（54.9 nN）；利用传感器成功测量获得PDMS（聚二甲基硅氧烷）、蝴蝶触角和人类头发的杨氏模量。

图1 a光纤端面固支梁探针扫描电镜图（SEM）。b和c分别是固支梁探针在光纤端面上受压和释放时的光学显微镜图。

在微观世界中，如果接触力得不到可靠的检测和有效的控制，微观物体很容易损坏。例如，在医疗心脏导管插入术中，医生必须了解导管与血管壁之间的接触力，以避免在插入过程中损坏患者的血管网络。此外，许多其他领域，如微系统、生物样品检测、微流控、微组装和材料科学，都需要高灵敏度的微力传感器。

在过去的几十年中，基于微机电系统（MEMS）的各种电容式力传感器、压电式力传感器等都得到了飞速发展。MEMS微力传感器可以提供高测量分辨率和大测量范围，但受限于封装方式其结构尺寸较大，并且易受环境电磁场干扰，在许多应用中受到限制。与MEMS微力传感器相比，光纤微力传感器具有灵敏度高、柔韧性好、重量轻、体积小、生物相容性好、抗电磁干扰等众多优点。

双光子聚合（TPP）是一种由飞秒激光诱导的3D微打印技术，其打印精度可达100nm以下。其应用领域包括超材料、MEMS、微流控和生物医学等。理想情况下，TPP技术可用于制造任意形状的微纳结构，即使是微仿生或微磁驱动器件等采用传统加工方式难以制造出的微结构，也可以利用双光子聚合技术实现，具有良好的应用前景。通过TPP技术与光纤器件的完美结合，可以开发出各种各样的新型光纤微结构传感器，从材料体系和结构体系两方面发展光纤传感器，拓展其应用领域。

研究人员制备了不同高度（15µm、30µm和50µm）的固支梁探针，并对比研究了其法珀干涉光谱特性。三种高度固支梁探针的光学显微镜图及其反射光谱如图2a所示。随着基座高度的增加，固支梁和光纤端面仍能保持平行。此外，聚合物固支梁探针具有较高的干涉光谱对比度（>15dB）。以上特征表明TPP打印的光纤端面固支梁探针具有优秀的光学性能。

为了研究该传感器的力学传感性能，研究人员利用有限元方法建立了具有不同探针直径（10μm、5μm和3μm）的力学分析模型，仿真结果如图 2b-e所示。结果表明：在相同的微力作用下，探针直径越小，法珀腔的腔长压缩越显著，即减小探针直径可以有效提高传感器的力学灵敏度。综合考虑传感器的力学灵敏度和探针机械强度，优化的探针直径为5 μm。

图2 a不同基座高度的固支梁探针的光学显微镜图及其法珀干涉光谱。b、c、d相同微力（1 μN）作用于不同直径探针的弯曲变形仿真结果。e相同微力下探针直径与固支梁弯曲变形的关系。

研究人员对光纤端面固支梁探针逐渐施加外力，并实时监测其反射光谱。当以300 nN 的增量从0 nN逐渐增加到2700nN时，光纤端面固支梁探针的反射光谱演变如图3a所示，从图中可以看出反射谱的Dip波长随着微力的增加而逐渐蓝移。Dip波长与施加力的关系如图5b所示，利用线性拟合计算出该光纤微力传感器的力学灵敏度高达-1.51nm/μN，成功建立了施加力和传感器输出之间的线性关系，完成了传感器的微力标定。

图3 a逐渐增加施加力时传感器反射光谱的演变过程。b Dip波长与施加力的线性关系曲线。c基于有限元的变形分布仿真结果。

研究人员利用该光纤微力传感器对多种材料（PDMS、蝴蝶触角和成年女性头发）的杨氏模量进行了检测。固支梁探针压PDMS前后的反射光谱如图4c所示，根据反射光谱的测量结果，并结合材料力学方程，可计算出PDMS的杨氏模量为4.8MPa。利用原子力显微镜对相同PDMS样品进行力学测试，得到其杨氏模量平均值为5.11MPa（图4a），光纤微力传感器的测量结果与原子力显微镜结果基本一致，验证了该光纤微力传感器的可靠性。研究人员利用相同方法成功测量了蝴蝶触角和成年女性头发的杨氏模量，蝴蝶触角的测量结果如图4b所示。

图4 a原子力显微镜测量的PDMS杨氏模量分布图。b固支梁探针推压蝴蝶触角的显微观测图。c PDMS偏转20μm时，传感器反射光谱的演变过程。d蝴蝶触角偏转150μm时，传感器反射光谱的演变过程。

本研究提出的光纤微力传感器具有灵敏度高、检测下限高、结构紧凑、生物兼容和全光纤集成等众多优点，在材料力学性能研究和生物样品检测方面具有广阔的应用前景。该方法不仅为实现微型原子力显微镜系统提供了新方案，更是为光纤集成聚合物微纳传感器研究提供了新思路。在未来，我们将继续研究改进光纤微力传感器的各项性能，拓展该传感器在生物力学检测领域的潜在应用。

本文第一作者为深圳大学物理与光电工程学院博士研究生邹梦强，深圳大学物理与光电工程学院的廖常锐教授和王义平教授为共同通讯作者。

论文全文下载地址：